日前，諾發系統有限公司(Novellus Systems)宣布自其一年前推出VECTOR Express以來，已為業界的邏輯器件和存儲器件制造商提供了超過100臺VECTOR Express產品。目前，VECTOR Express已經在半導體行業十大資本設備采購商中的八家實現了量產。 

       自2007年3月推出以來，VECTOR Express獨特的SmartSoak功能已為薄膜生產效率和晶圓性能建立了全新產業標準。利用諾發公司的多平臺順序處理(MSSP)結構，SmartSoak通過在先進薄膜(如抗反射層、擴散阻擋層和氧化隔離層等)沉積過程中提高晶圓溫度的一致性，得以改善薄膜的均勻性，并減少薄膜的缺陷。同時，SmartSoak還縮短了傳統晶圓加熱流程所耗費的時間，從而大幅提高了設備的吞吐量。因此，VECTOR Express 有助于產品制造商將PECVD技術推進到45納米乃至更高的水平，同時確保成本相對于前代技術不斷降低。 

       VECTOR Express也為諾發公司在快速發展的可灰化硬掩膜(AHM)市場中獲得成功奠定了基礎。通過針對VECTOR Express開發的專用反應室工具套件，諾發公司AHM薄膜實現了出色的蝕刻選擇與CD控制，減少了缺陷，并提高了先進技術節點的器件優良率。諾發公司 AHM 技術于 2007 年 6 月推出，目前已在多家存儲器制造商中實現量產。 

       諾發公司PECVD事業部副總裁兼總經理Tim Archer指出：“為保持競爭力，提高每代產品的制造品質并降低其成本，成為我們客戶的基本需要。在與的半導體制造商合作中，我們開發出VECTOR Express以滿足這一需求。我們很高興地看到該設備在推向市場的年就迅速得到認可。”