Aviza日前宣布其新一代單晶原子層沉積(ALD)系統 Celsior已交貨于我國一家集成電路晶圓廠。Celsior系統將用于90納米DRAM的制程中。
      原子層沉積是一項關鍵技術，可以協助實現裝置的連續縮放并滿足90納米及更精密裝置結構的嚴格沉積要求。Celsior的一項關鍵特性是其經過生產檢驗的平臺，同樣的軟件平臺已被應用于全球各地晶圓廠生產環境中的化學氣相沉積(CVD)、物理氣相沉積(PVD) 和蝕刻(Etch)系統中。