安森美半導體(ON Semiconducto)和Nantero公司宣布他們聯(lián)手開發(fā)創(chuàng)新的半導體工藝技術(shù),持續(xù)開展在CMOS晶圓制造中有效地集成碳納米管。
聯(lián)合開發(fā)項目在安森美半導體美國俄勒岡州Gresham的制造廠區(qū)進行。該廠是近從LSI Logic Corporation購買的,其制造能力可精確至130納米(nm)節(jié)點,是與Nantero技術(shù)開發(fā)項目的理想之選。
Nantero聯(lián)合創(chuàng)辦人兼首席執(zhí)行官 Greg Schmergel說:“我們看到這聯(lián)合項目的巨大潛力。Nantero和Gresham的工程團隊成功地合作多年,我們期望與安森美半導體的攜手合作,制造出世界首批采用碳納米管的半導體器件?!?
Nantero采用的碳納米管專利工藝與CMOS兼容,目前正在安森美半導體Gresham的半導體制造廠區(qū)進行開發(fā)。該廠是世界通過碳納米管認證的晶圓廠。
安森美半導體營運副總裁喬貝洱(Bill George)說:“安森美半導體能與Nantero合作,感到興奮。Nantero在Gresham廠取得的技術(shù)成果令人印象深刻,我們期望雙方的合作能在結(jié)合納米管予CMOS工藝中開創(chuàng)更進一步的里程碑?!?