從事可制造性(DFM)研究的創新型企業Takumi Technology近日宣布推出一對新產品,用來優化IC物理設計并提高成品率。Takumi Inspect和Takumi Enhance能夠監測、評價并自動修理亞90nm設計中的“熱點”(hot spot)。
據該公司介紹,Takumi Inspect是一種在GDSII版圖中檢測影響成品率問題的版圖分析軟件。它能根據故障的概率對問題進行評價;Takumi Enhance是一種評價GDS版圖潛在故障的自動物理設計優化系統,它按照故障機制對故障處理的優先次序進行排列,并利用優化技術來修理版圖,從而消除多種故障機制,終提供“無熱點”的設計。
“雖然制造商已經采用OPC(光學接近校正)技術來減輕亞90nm設計中的亞波長問題,它仍然不能確保“無熱點”的設計和高成品率,”Takumi公司首席執行官Adriaan Ligtenberg說,“我們與技術伙伴一起開發了兩種工具,它們采用成品率、故障率、蝕刻參數、設計規則和來自代工廠的其它相關設置數據來檢測、評價和自動修理版圖上的熱點,而不會引入新的沖突。”
Takumi Enhance在GDSII版圖數據上工作,以檢測、評價并自動修理關鍵區域的版圖問題,包括單一接觸孔或過孔、可印刷性和因未對準邊緣和邊緣差異問題引起的邊緣放置誤差。
Takumi公司在秘密運作兩年多之后,于今年5月推出新產品,它認為自己不是傳統的EDA工具提供商。該公司規定的使命是集成完整的解決方案,其中可能包括用戶工具、第三方工具和服務。
Takumi新型工具的起價格是20萬美元,具體情況取決于配置。