Magma公司(Magma Design Automation Inc.)與光刻仿真工具供應(yīng)商Brion科技公司(Brion Technologies Inc.)日前共同宣布，兩家公司將合作開(kāi)發(fā)一款通用光刻建模工具。據(jù)稱(chēng)，該款軟件涵蓋物理設(shè)計(jì)、物理驗(yàn)證，以及分辨率增強(qiáng)技術(shù)(resolution enhancement technologies, RET)。

兩家公司稱(chēng)，這款EDA軟件將為Brion的光刻建模及光學(xué)近似修正(optical proximity correction, OPC)產(chǎn)品搭建橋梁，從而使客戶(hù)在采用新的節(jié)點(diǎn)工藝時(shí)，能夠節(jié)約成本和時(shí)間，并降低風(fēng)險(xiǎn)。

這種基于Magma Talus, Quartz DRC、Quartz LVS，以及Brion Tachyon聚集-暴光建模、Tachyon LMC(Lithography Manufacturability Check)和OPC+環(huán)境的工具，可為采用新節(jié)點(diǎn)工藝的客戶(hù)節(jié)約成本和時(shí)間，并降低風(fēng)險(xiǎn)。該設(shè)計(jì)流程意在使客戶(hù)及集成設(shè)備制造商能在65納米、45納米和32納米節(jié)點(diǎn)或基于其它光刻技術(shù)DFM流程下實(shí)現(xiàn)設(shè)計(jì)。

這款整合了Talus, Quartz DRC/LVS和Tachyon產(chǎn)品的通用設(shè)計(jì)工具旨在確保光刻效果在設(shè)計(jì)流程的每一個(gè)階段精確建模。在減小時(shí)序變動(dòng)的同時(shí)，這一工具還能在流片之前降低耗散功率和光刻熱點(diǎn)。

數(shù)據(jù)從Blast Fusion被送往Tachyon-FEM、 Tachyon LMC和Tachyon OPC+，從而使光刻流程在變動(dòng)性小的同時(shí)，優(yōu)化運(yùn)行時(shí)間，及縮減掩模成本。