靳磊

       KLA-Tencor日前宣布，由Freescale Semiconductor、STMicroelectronics和Philips Semiconductors三家半導(dǎo)體生產(chǎn)商組成的300毫米生產(chǎn)和研發(fā)協(xié)作聯(lián)盟Crolles2 Alliance已采用新型2800寬帶DUV明場(chǎng)系統(tǒng)。Crolles2在其65納米研發(fā)和90納米生產(chǎn)合作中采用2800，可檢測(cè)到影響成品率的關(guān)鍵性缺陷，而采用上一代的檢測(cè)工具是無(wú)法做到這一點(diǎn)的。