美國Ball半導(dǎo)體公司與半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備廠商大日本科研,聯(lián)合成立了無掩膜曝光機(jī)的開發(fā)、生產(chǎn)和銷售合資公司。公司名稱為“INDEX技術(shù)”,雙方各出資1.2億日元,另外日本半導(dǎo)體研磨切斷設(shè)備廠商DISCO也計劃出資3000萬日元。社長將由大日本科研的社長岡本光三出任。
Ball半導(dǎo)體開發(fā)的無掩膜曝光機(jī)目前已經(jīng)向材料廠商、顯示器廠商、相關(guān)大學(xué)以及封裝廠商等合計供貨數(shù)十臺。INDEX技術(shù)公司將繼續(xù)這項業(yè)務(wù),將從2006年第3季度開始生產(chǎn)并銷售。標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備價格方面,估計面向半導(dǎo)體廠商的為1億~1.5億日元,面向MEMS的為2000萬~3000萬日元。目標(biāo)是2007年度實現(xiàn)約4億日元的銷售額。
無掩膜曝光機(jī)的開發(fā)和生產(chǎn)移交給新公司之后的Ball半導(dǎo)體“將重新回到原點,繼續(xù)從事原來的球狀產(chǎn)品業(yè)務(wù)”(日本分公司社長吉田政孝)。具體而言,將開發(fā)球狀太陽能電池和傳感器,終目標(biāo)是應(yīng)用于半導(dǎo)體產(chǎn)品中。(記者:河合 基伸)