據Semiconductor Reporter網站報道，Olympus Integrated Technologies America近期發布了一款新型300mm圓片光學全頂、邊緣、傾角和背端缺陷檢測系統。該公司以前的檢測系統不含有傾角檢測能力，傾角檢測將通過連續角度調節實現成像和缺陷探測。

      AL3300光學檢測、缺陷探測系統可以實現每小時180圓片的產能，同時具有較小的和靈活的占地面積。該公司表示，精細觀察可以在多種波長照明下完成，例如探測玷污、擦痕等缺陷和薄膜厚度變化等微缺陷。通過微型照相機可以自動獲得圓片的1X圖像。 AL3300完全適用于GEM300系統，以實現用戶自動設備的無損傷檢測。