應用材料公司(Applied Materials Inc.)近日推出新的診斷工具，據稱能夠在代工廠設備中執行瞬間分析(split-second analysis)。與其它系統監測工具不同，Applied的NeXus SPC工具每秒監測關鍵的工藝參數100次。它從多個工藝和腔傳感器(chamber sensors)組合數據，以便實時創建定位和跟蹤正在變化的工藝條件的模式。

       據該公司稱，該工具能夠增加系統的正常運行時間并提高成品率，防止晶圓出現工藝漂移，并有可能制定更具有成本效益的維護時間表。

       該工具利用了所謂的虛擬傳感器(Virtual Sensors)。該公司表示：“這些算法從多種不同類型的工藝和腔傳感器構建模型，并根據用戶預先定義的控制極限創建精密的報警能力。”

       NeXus SPC工具的硬件被安裝在系統的工廠接口且不需要附加的安裝區，目前該硬件已經安裝到若干應用材料公司的加工系統之中。

       Applied Global Services的副總裁兼總經理Manfred Kerschbaum說：“NeXus SPC的Process-Aware診斷能力通過把實時窗口提供給完整的工藝環境，包括上游的工藝腔本身的因素，增強了我們的客戶對應用材料系統公司加工系統的可用性。”